HF-960EM是一種使用傳感器的模型,該傳感器的潤濕部件中完全潤濕部件,以符合半導體工藝中的清潔度要求。傳感器尺寸已縮小到很大程度,以節省安裝空間。提高穩定性和可重復性精度,并支持高達50%HF濃度的寬量程。
型號 |
HF-960EM |
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測量范圍 |
HF:0-50%,HCl:0-10%,電導率:0-2000 mS / cm |
重復性 |
在滿量程的+/- 0.5%之內(使用等效輸入) |
線性度 |
在滿量程的+/- 0.5%FS之內(使用等效輸入) |
變速箱輸出 |
輸出點數:4點 |
接點輸出 |
輸出點數:5點 |
接點輸入 |
輸入點數:2點 |
通訊功能 |
RS-485 |
供電電源 |
直流24 V +/- 10%15W |
適用傳感器 |
CM-520系列 |
濕的部分 |
PFA |