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    日本HORIBA 用于半導體制造工藝的HF濃度計
    發布者:青島澳海源國際貿易有限公司  發布時間:2019-11-29 16:23:03  訪問次數:52

    用于半導體制造工藝的HF濃度計HF-960EM


    輪廓圖

    HF-960EM是一種使用傳感器的模型,該傳感器的潤濕部件中完全潤濕部件,以符合半導體工藝中的清潔度要求。傳感器尺寸已縮小到很大程度,以節省安裝空間。提高穩定性和可重復性精度,并支持高達50%HF濃度的寬量程。

    特色功能

    • 寬范圍設置,HF濃度高達50%
    • 高穩定性/重現性精度
      內置溫度測量傳感器,支持高達80℃的HF樣品測量。再現精度達到FS±0.5%。
    • 自動量程功能
    • 無污染/耐化學腐蝕的傳感器
      使用清潔的傳感器,僅將PFA作為潤濕材料。由于它是一種耐化學腐蝕的傳感器,因此它也可以用于測量半導體工藝中使用的各種化學物質。
    • 傳感器變得更小,更輕
      ,與我們以前的型號相比縮小了2/3,進一步減輕了重量。通過將其安裝在單晶片噴嘴的前面,可以提高安裝空間的自由度。

    規格書

    型號

    HF-960EM

    測量范圍

    HF:0-50%,HCl:0-10%,電導率:0-2000 mS / cm

    重復性

    在滿量程的+/- 0.5%之內(使用等效輸入)

    線性度

    在滿量程的+/- 0.5%FS之內(使用等效輸入)

    變速箱輸出

    輸出點數:4點

    接點輸出

    輸出點數:5點

    接點輸入

    輸入點數:2點

    通訊功能

    RS-485

    供電電源

    直流24 V +/- 10%15W

    適用傳感器

    CM-520系列

    濕的部分

    PFA


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