HF-960EM是一種使用傳感器的模型，該傳感器的潤濕部件中完全潤濕部件，以符合半導體工藝中的清潔度要求。傳感器尺寸已縮小到很大程度，以節省安裝空間。提高穩定性和可重復性精度，并支持高達50％HF濃度的寬量程。
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型號 |
HF-960EM |
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測量范圍 |
HF：0-50％，HCl：0-10％，電導率：0-2000 mS / cm |
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重復性 |
在滿量程的+/- 0.5％之內（使用等效輸入） |
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線性度 |
在滿量程的+/- 0.5％FS之內（使用等效輸入） |
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變速箱輸出 |
輸出點數：4點 |
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接點輸出 |
輸出點數：5點 |
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接點輸入 |
輸入點數：2點 |
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通訊功能 |
RS-485 |
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供電電源 |
直流24 V +/- 10％15W |
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適用傳感器 |
CM-520系列 |
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濕的部分 |
PFA |