日本HORIBA 低濃度HF / HCl / NH3濃度監測儀<HF-960M>
一次清洗和單晶片清洗的理想之選
高度準確地測量低濃度的 鹽酸和氨在
半導體清洗工藝中，隨著設備的發展和完善，要求將用于RCA清洗的化學設備控制在低濃度。 。
HF-960M采用了具有出色耐腐蝕性的傳感器，并可以高速測量低濃度的 鹽酸和氨，使其非常適合單浴清洗和單晶片清洗。
|
產品名稱 |
低濃度HF / HCl / NH 3濃度監測儀 |
|---|---|
|
類型名稱 |
HF-960M |
|
環境溫度 |
?5至45°C |
|
相對濕度 |
20至85％（無凝結） |
|
儲存溫度 |
?25至65°C |
|
供電電源 |
額定電壓24V DC 10W |
|
外形尺寸 |
96（W）x 96（H）x 115（D）外殼深度：約105mm（安裝面板時） |
|
重量 |
550克 |
|
適用標準 |
CE標記，FCC Part15 |