高強(qiáng)度鹵素光源設(shè)備是一種 用于宏觀觀察的照明設(shè)備，用于檢測(cè)
最終表面上的
各種缺陷，例如異物，劃痕，拋光不均勻，霧度，打滑等，這是半導(dǎo)體晶圓和液晶基板加工過程中最常見的人造缺陷。 。
1.樣品表面可以照到400,000Lx或更高。
2.由于使用鹵素?zé)糇鳛楣庠矗虼松珳馗撸彰鞑痪伲彰?/span>
非常穩(wěn)定且清晰。
3.通過使用冷鏡，熱效應(yīng)大大
降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3 。
4.通過兩段式切換機(jī)構(gòu)，
可以一鍵切換高照度觀察和低照度觀察。
YP-150I ? ? ?照度范圍φ30YP-250I ? ?
?照度范圍φ60
（YP-250I可以選擇螺旋槳式和風(fēng)管式）
