APG 真空計 皮拉尼真空計種類那么多，如何選擇才最好？
一、皮拉尼真空計
真空計原理
· 加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度
· 由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時帶走了能量，電阻絲的溫度會發生變化
· 熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關系
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衍生出兩種類型的皮拉尼規
1）穩定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICON PSG500）
2）穩定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規）
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氣體的熱傳導，與下列提條件有關
1）氣體類型
2）壓力大小
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皮拉尼真空計測量范圍與精度
測量范圍（空氣,氧氣,一氧化碳,氮氣）：5 x 10-4至 1000 mbar
精度(氮氣)：
1x 10-3… 100毫巴 ±15%
5 x 10-4… 1 x 10-3毫巴 ±50%
100 ... 1000毫巴 ±50%
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皮拉尼真空計的優特點
燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以最大的保護，大大延長了燈絲的使用壽命。
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皮拉尼真空計具體型號
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· PSG050/051
· PSG100-S PSG101-S
· PSG500/500-S PSG502
· 皮拉尼電容膜片復合真空計PCG400 PCG410 PCG550
1）有皮拉尼規與特制的陶瓷薄膜規合成在一起
2）兩種原理的規管全過程都工作
3）100 mbar—1000 mbar 使用薄膜規信號
4）1 mbar– 100mbar 兩規信號同時采用
5）5x10-4mbar –1 mbar 采用皮拉尼信號
6）輸出的真空度信號（電壓）連續，無跳躍
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皮拉尼真空計應用行業
· 各種高真空泵的前級壓力測量，如光伏、鍍膜、等離子行業
· 各種中低真空測量，如照明，冶金
· 真空連鎖控制，高真空計的點火開關控制，如PEG100
· PSG050可完全替代TR211，PSG051可完全替代TR216
· PCG400 PCG410(現在已升級為PCG550，PCG400/PCG410已經停產）與PSG500 基本相同，但彌補了皮拉尼規大氣測量段精度不足的弱點，而且不受氣體類型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍寶石爐上廣泛應用
· PSG100 PSG101，與PSG500/PSG050基本相同，但以為具有通訊協議功能，在大系統中應用廣泛
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二、電容薄膜規
CDG025D/CDG045/100/160/200
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電容薄膜規工作原理
· 壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關系
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· 通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度
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電容薄膜規特點
· 以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎構成
· 在嚴酷和腐蝕性環境中,穩定與可靠的高精度壓強測量
· 快速的預熱和恢復時間,提高生產率
· 卓越的長期穩定性,再現性和重復性
· 由于電子學直接安裝在傳感器上,改進了溫度補償和EMC兼容性
· 對環境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩定
· 快速預熱在開機的一分鐘內達到快速穩定和進入準備使用狀態
· 一鍵按鈕: 調零功能和設點調整
· 抗腐蝕超純陶瓷傳感器
· 能經受數百萬次壓強循環周期,包括大氣壓沖擊,無任何降低性能的跡象
· 暴露大氣壓后快速恢復,無需隔離閥
· 對蒸氣介質不敏感
· 先進的傳感器屏蔽 (專利)延長真空計在污染的工藝過程中的使用壽命
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INFICON陶瓷技術
· 陶瓷技術的優越性
1）無 “記憶” 效應
2）陶瓷無疲勞問題
3）最好的溫度補償
4）卓越的零點穩定性
· 低使用成本
1）非凡的使用壽命
2）無需隔離閥
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Sky CDG025D測量范圍
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加熱型薄膜規
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加熱型優點
· 零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環境）
· 更高的精度
· 環境溫度變換/環境壓力變化/環境氣流變化對精度無影響
· 比工藝更快的預熱啟動時間’
· 快速恢復時間 大氣壓 < 1 min within 5mV
· 任意安裝角度
· 抗污染，可有效抵抗工藝氣體或工藝產生氣體的腐蝕影響
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電容薄膜規的應用
要求高的應用條件下，精確而快速的壓強測量
· 用于刻蝕，CVD、PVD、ALD半導體設備制造，如太陽能光伏行業的PECVD用的很多，刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗污染性能比較好。一般國內用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多，如德國Ruth&Rau公司的PECVD設備標配產品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質量流量計用的是1179BX23CR14VSPC1 800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC1 2000sccm/NH3，國內用的好多PECVD設備上用的是INFICON的CDG025D。
· 資料貯存和顯示器制造設備
· 工業真空設備
· 常用高精度真空測量
三、熱電離規
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熱電離規原理
Richardson 效應: 高溫燈絲發射電子，高能量電子撞擊氣體分子，氣體分子的一個或多個電子被撞擊出去，形成帶正電的離子。
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1）帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出
2）離子流的大小與氣體壓力成比例關系
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兩種類型熱電離規
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熱電離型復合規
· HPG400
· BPG400/-SP/-SD/SR
· BPG402
· BCG450 B-A規，皮拉尼規，薄膜規三種型號復合在一起
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優點及應用
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· BPG
■測量范圍寬，一個規管覆蓋13個量程5x10-10–1000 mbar
■精度高，極好的重復性5%
■燈絲材料鍍釔的銥絲有極好的抗氧化能力，皮拉尼自鎖保護，使燈絲并不會因突然暴露大氣而燒毀。
■方便的校準調節
■注意事項：
◆對氣體有選擇性
◆抗污染能力弱
■普遍應用于從低到超高真空的測量
■在工業，半導體，研究行業應用廣泛
· BPG402
■雙燈絲，大大延長使用壽命
■電離規的工作可以自定義控制
■探頭備件自帶校準參數，保證精度與重復性
· HPG400
■電離規與皮拉尼的復合
■皮拉尼自鎖保護電離規
■電離規的工作啟動點可以一定范圍內自定義
■簡易的校準功能
■相對便宜的價格
· BCG450
■可調的電離規工作起點
■極佳的重復性
■精確的大氣端測量
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四、冷電離規（潘寧規）
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冷電離規原理
通過氣體放電方式產生電子，通過磁場使電子獲得能量將氣體分子電離。
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潘寧規特點與應用
· 測量范圍：5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar
· 全金屬密封
· 無燈絲
· 易清洗
· 應用于普通的高真空測量
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冷規復合規MPG400特點與應用
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· 冷規與皮拉尼規的復合
· 測量范圍廣： 5x10-9-1000 mbar
· 易于保養清洗
· 無高真空燈絲，
· 應用于普通高真空測量
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冷規及復合規性能比較