常用真空計(jì) 電阻/皮拉尼精密變送器 真空規(guī)管
選型注意事項(xiàng)
在真空技術(shù)中，沒(méi)有任何一種單一的測(cè)量方法能夠涵蓋整個(gè)壓力范圍。所以需要使用不同的傳感器。真空計(jì)的選擇標(biāo)準(zhǔn)是基于各種條件的
圖片
容器中氣體總壓強(qiáng)等于各氣體分壓強(qiáng)之和。總壓強(qiáng)測(cè)量方法可分為直接法和間接法兩種。
直接法利用液柱差、機(jī)械變形等原理直接測(cè)量壓強(qiáng)，包括液位壓強(qiáng)計(jì)、壓縮式真空計(jì)、彈性元件真空計(jì)等。根據(jù)前兩種儀器測(cè)出的物理量可算出壓強(qiáng)值，屬于絕對(duì)真空計(jì)。
間接法利用氣體某些物理性質(zhì)（如熱傳導(dǎo)、粘滯性、電離及光散射效應(yīng)等）來(lái)測(cè)量壓強(qiáng)，包括熱傳導(dǎo)真空計(jì)、粘滯真空計(jì)及電離真空計(jì)等。在真空技術(shù)中使用的真空計(jì)絕大多數(shù)采用間接法，這些真空計(jì)必須用絕對(duì)真空計(jì)或其他方法校準(zhǔn)。對(duì)于用間接法測(cè)量的真空計(jì)，由于不同種類(lèi)氣體的物理性質(zhì)不同，即使在相同壓強(qiáng)下，壓強(qiáng)讀數(shù)也隨氣體而異，因此要用相應(yīng)的氣體來(lái)校準(zhǔn)。當(dāng)被測(cè)氣體不是單一成分時(shí)，這些真空計(jì)的讀數(shù)的含義較為復(fù)雜。由于一般真空計(jì)校準(zhǔn)時(shí)所采用的氣體是純氮，因此這些真空計(jì)的讀數(shù)在未經(jīng)氣體種類(lèi)修正之前統(tǒng)稱(chēng)為等效氮壓強(qiáng)。
真空度單位的換算公式：1Torr≈1.333mbar≈133Pa
在真空技術(shù)中，沒(méi)有任何一種單一的測(cè)量方法能夠涵蓋整個(gè)壓力范圍。所以需要使用不同的傳感器。真空計(jì)的選擇標(biāo)準(zhǔn)是基于各種條件的，如：
要檢測(cè)的壓力范圍
氣體組成：惰性或腐蝕性、氧化性
所需精度和可重復(fù)性
環(huán)境條件，如烘烤溫度，干擾，放射性
在選擇和安裝真空計(jì)時(shí)，還必須考慮其特性和真空測(cè)量的特殊性：
由于真空室中存在潛在的壓力梯度，選擇適當(dāng)?shù)陌惭b位置。
表面和密封材料呈現(xiàn)脫氣現(xiàn)象。因此真空計(jì)可指示的壓力高于真空室壓力。連接法蘭因此應(yīng)該盡可能的短，且密封件數(shù)量盡量少。
電離真空計(jì)可以具有抽運(yùn)效應(yīng)，因此指示的壓力低于真空室中的實(shí)際壓力。
冷陰極真空計(jì)具有固有的濺射效應(yīng)，這在中真空范圍內(nèi)與重型氣體（如氬）一起操作時(shí)尤為明顯。這可導(dǎo)致不一致和不準(zhǔn)確的讀數(shù)。
當(dāng)烴類(lèi)存在時(shí)，電離真空計(jì)受到有機(jī)分子分解產(chǎn)物的污染。如同濺射效應(yīng)一樣，讀數(shù)不正確或不一致。必須選擇電離真空計(jì)的開(kāi)關(guān)點(diǎn)，以避免因上述現(xiàn)象導(dǎo)致的污染。
強(qiáng)磁場(chǎng)和電場(chǎng)會(huì)影響真空計(jì)的功能。這尤其適用于電離真空計(jì)。
為能夠產(chǎn)生超高真空，必須對(duì)真空設(shè)備，包括真空計(jì)進(jìn)行烘烤。必須遵守技術(shù)數(shù)據(jù)中規(guī)定的最大烘烤溫度和條件。
使用其他測(cè)量原理的，通常可以更換傳感器。受到污染，冷陰極真空計(jì)可以很容易地拆卸和清洗；熱陰極真空計(jì)與皮拉尼真空計(jì)通常更換燈絲或傳感器。