日本富士FUJI超聲波高精度單成分濃度計
日本富士FUJI超聲波高精度單成分濃度計
FUD-1 Model-130
產品簡介：
高精度·高穩定測量等，成為回答顧客的需求的FUD-1 Model-13的上位機種被定位的模型。
単成分濃度計（高精度）
單成分濃度計的特點
Model-130是重視測量濃度穩定性的概念模型
半導體制造工序等的高精度·高穩定濃度計方面被認為是必要的景色發揮效果。
優點，優點
高精度連續計測可能
無需定期調整、校對，無需維護
設置時的各種調整等不需要也容易設置
由于實時輸出的工程的反饋也容易
日本富士FUJI超聲波高精度單成分濃度計價格
用途
在CMP工序中的CMP襯墊或氧化劑濃度管理等
稀釋工程的各種藥液濃度管理等（H2O2?TMAH?HNO3?H2SO4?HCl等）
在清洗過程中的清洗液濃度管理等（HF?NH4OH?KOH?IPA等）
蝕刻工序中的蝕刻液濃度管理等（HF?H2SO4等）
規格
形式：FUD-1 Model-130
測量參數超聲波傳播速度?溫度
顯示：LCD(濃度、溫度、音速/各種參數)
輸出信號DC4～20mA (濃度值可任意設定)
數字RS232C (濃度、溫度、音速、錯誤代碼)
警報上限測量異常.
電源AC100V～240V 50/60Hz兩用30VA (DC24V也可使用)
結構：面板掛載型（根據DIN標準）
功能輸出范圍設定功能、警報輸出設定功能、濃度顯示移動平均功能、濃度顯示偏移及增益設定功能、自我診斷功能、安全功能、異常值取消功能
選項溫度輸出（DC4～20mA）
頻道大10Ch
電纜6m
接液部材PFA涂層
接頭稱呼直徑1/2～1英寸可對應各種
測量環境轉換器
10～40℃
RH85%以下
發信器5～45℃
測量液溫度0～50℃
耐壓0.3MPa
流量5l/min以下