日本kasuga兼容真空的靜電勢(shì)傳感器KS-3101 在真空中，減少靜電的氣體成分非常稀薄，以至于即使在大氣壓下，靜電也會(huì)導(dǎo)致嚴(yán)重的生產(chǎn)故障。 具有真空能力的靜電勢(shì)傳感器使用的材料和材料可以在真空環(huán)境中使用，并且可以用來(lái)測(cè)量真空中產(chǎn)生的靜電。用它來(lái)確定真空過(guò)程中產(chǎn)生靜電的原因，并連續(xù)監(jiān)測(cè)靜電勢(shì)。 高壓范圍：0至±20.0kV（測(cè)量距離100mm） LOW范圍：0至±2000V（測(cè)量距離10mm） 真空電纜：KS-3101-C01（電纜長(zhǎng)度1m，可擴(kuò)展） 控制箱：KS-3101-B05（帶空氣側(cè)電纜5M，可擴(kuò)展） 控制器：KSD-0110或KSD-0120 
型號(hào) KS-3101 檢測(cè)方式 振動(dòng)式表面電位傳感器 推薦真空度 10 0 Pa以下 測(cè)量范圍 測(cè)量精度 ±10％以?xún)?nèi) 警告 檢測(cè)傳感器故障LED顯示 使用環(huán)境 溫度0?40℃，濕度65％以下（無(wú)凝露） 彌撒 約100克（不包括電纜和控制盒） 配置必要性 選件 真空法蘭