在微系統(tǒng)技術領域中的產(chǎn)品開發(fā)需要多種微技術的共同發(fā)展。例如需要微型機械零件、微型光學零件和微型電子部件的共同努力才能完成。微型的數(shù)字攝像機就需要上述各個微型技術的通力合作。微型技術領域中產(chǎn)品需求量的增加也帶動了微型機械產(chǎn)品需求量的增加，從而對機械產(chǎn)品的生產(chǎn)加工提出了更高的要求。因此，微型產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、微型結構件的生產(chǎn)制造和微型部件的研制開發(fā)是急待增強的新領域。
高硬度微型零件的機械加工，因微型結構件有限的可加工性、極高的精度和很小的制造公差，所以是一項非常困難的加工任務。在工業(yè)化大批量生產(chǎn)中，微型結構件最主要的生產(chǎn)工藝方法是輥壓、微壓鑄、熱沖壓等等。在高耐磨微型零件結構的加工中，除了磨削和激光切削方法以外，電火花腐蝕加工也是一種可行的微型結構件加工工藝。在電火花腐蝕加工中，利用微型成型電極的電火花腐蝕加工和微型線切割加工，由于其工藝方法在微型系統(tǒng)機械零部件、結構件加工中的特性而得到廣泛應用。這兩種加工工藝方法與被加工工件材料的性質(zhì)無關，不受工件材料的影響，并且?guī)缀醪划a(chǎn)生切削力，因此可以生產(chǎn)加工出非常小的結構件。
微電火花腐蝕加工的概念（縮寫為μ－EDM）表示的是利用電火花腐蝕加工的方法生產(chǎn)加工微型工件和微型結構件，它是機械加工中電火花腐蝕加工在微型加工領域中的一種應用。在微電火花腐蝕加工中，被加工工件的輪廓尺寸明顯的小于1mm。微電火花腐蝕加工與傳統(tǒng)電火花腐蝕加工的區(qū)別首先是非常小的電極，除此以外就是與微型工件、微型結構件電火花加工相適應的電氣參數(shù)和生產(chǎn)工藝參數(shù)。由于微型工件的體積和尺寸非常小，所有的加工工藝參數(shù)都不能超過工件熱負荷極限的限制。這就是說：要減少放電電能，減少電流密度。
現(xiàn)代化的電火花腐蝕加工設備除了配備有電流可調(diào)的標準電機，可進行大功率的電火花腐蝕加工以外，還附加了張馳振蕩器，可用于微電火花腐蝕加工和表面精密加工。這種電容式的微型振蕩器可以根據(jù)電氣傳導距離的放電電容量、分布電容，產(chǎn)生很小的放電能量。最小為0.1μJ/每個放電過程；最小的工作電流0.1A；最短的放電持續(xù)時間為50ns；以及放電頻率達到10MHZ。它可實現(xiàn)的最小電火花間距達15μm。目前，利用微電火花腐蝕加工工藝可以達到的最小結構尺寸約為20μm，日本的研究人員已經(jīng)成功的在厚度為10μm的鋼質(zhì)薄片上利用微電火花腐蝕加工工藝加工出了直徑為5μm的孔。在加工這種孔時，他們充分控制了電氣導線和夾具系統(tǒng)在電火花腐蝕時的放電電容，使它小于10pF。在微電火花腐蝕加工中，機床只允許有非常小的放電電容，例如利用陶瓷夾具，屏蔽了的電氣導線，來減少機床系統(tǒng)的放電電容；電容和電路板等，也應嚴格在空間上與加工電極分割開來。
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