當(dāng)機(jī)械刀片的邊緣幾何尺寸至關(guān)重要時(shí)，就必須對它們進(jìn)行精確的、可復(fù)現(xiàn)的測量。例如，在燃料噴射系統(tǒng)中，提供密封性的邊緣幾何尺寸必須加工得極其精密，以提高噴射燃料的準(zhǔn)時(shí)性，并使泄漏的可能性降至最小。
為了實(shí)現(xiàn)某些應(yīng)用功能，有時(shí)需要對工件邊緣進(jìn)行小至5μM的倒棱加工。為了在生產(chǎn)檢測中，通過測針的一次性觸測，實(shí)現(xiàn)對邊緣幾何尺寸精確的、可復(fù)現(xiàn)的測量，HOMMELETAMIC公司推出了一種納米掃描粗糙度及輪廓形狀測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)能對工件邊緣進(jìn)行微米級檢測，同時(shí)還能確定構(gòu)成邊緣的兩個(gè)表面的粗糙度。該系統(tǒng)還能評估輪廓特征（如半徑和角度），且能達(dá)到20NM的重復(fù)測量精度。
除了檢測邊緣以外，該系統(tǒng)還能確定由邊緣毛刺造成的凸起，這些毛刺是在加工過程中產(chǎn)生的，它們會(huì)削弱邊緣功能。該測量系統(tǒng)配備的高分辨機(jī)械刀片（0.6NM）激光干涉儀可以實(shí)現(xiàn)對這些微小毛刺的納米掃描檢測。有時(shí)，盡管這些毛刺的高度只有1－2μM，但當(dāng)配合間隙僅為1μM時(shí)，一個(gè)微小毛刺就可能造成配合不良的問題。
在接觸測量時(shí)，金剛石測針可將工件表面測量值傳輸?shù)郊す飧缮鎯x中，接觸式測頭可與激光干涉儀相互配合進(jìn)行檢測。為了避免采用數(shù)學(xué)方式濾除由驅(qū)動(dòng)測量運(yùn)動(dòng)的電機(jī)產(chǎn)生的機(jī)械噪聲，納米掃描測量系統(tǒng)配備了一個(gè)可進(jìn)行機(jī)械濾波的驅(qū)動(dòng)裝置，該裝置可消除電氣噪聲和任何機(jī)械噪聲。