前在SF6檢測的應用中同時并存著不同類型的設備，通過對一些技術資料的調查，這里把其中普遍承認的各種檢測設備的主要特點說明一下。
（1）利用SF6氣體的高度絕緣特性，采用高壓電暈放由枯犬制成的乞休槍漏儀。能定性地檢測出環境中氣體泄漏，但該儀器在使用前必須在無Sf6氣體的清潔空氣中標定，否則即使在高濃度SF6氣體環境中，它也不會報警。而且對于其它的一些氣體會有反應，很難分辨是否是SF6氣體泄漏而引起的報警。這類儀器不適用于檢測SF6氣體，并帶有一定誤導性。
（2）利用Sf6氣體的化學特性，采用電化學技術研制的氣體檢漏儀。主要優點是反應快及氣體的選擇性，但是電化學SF6傳感器件存在衰減或中毒問題，在進行檢測Sf6氣體時不能夠真實的檢測，傳感器使用壽命很短一般為一個月時間。
（3）利用SF6氣體的熱傳導特性，采用熱導法技術研制的檢漏儀。SF6熱導法優點是物理萬法檢測，SF6傳感器壽命比較長，線性度好，靈敏度稍低。與紅外光譜法相比，其傳感器壽命不夠埋想，而且檢測精度達不到。
（4）利用Sf6氣體對聲波傳播阻力大的特性，采用聲波技術研制的氣體檢漏儀。它能檢測環境中SF6氣體含量大于2％ 體積百分比的濃度。其主要缺點是檢測下限太低，2 (20,000ppm) 的SF6氣體濃度己遠遠超過了理論上SF6氣休對人體的安全上限濃度1, 000ppm。
（5）利用SF6氣體對光的吸收特性，采用紅外光技術研制的氣體檢漏儀。SF6氣體作為目前發現的最穩定的溫室效應氣體，踞實驗證明在10.5um處具有強烈的光譜吸收特性。SF6坑窄帶濾光片、高靈敏低噪聲光電探測電路、穩定的光斬波器等先進的設計方法和技術實現了對待測區域中SF6氣體濃度的實時、在線高靈敏激光光譜遙測。用紅外光譜吸收技術檢測，對SF6氣體泄漏檢測，測量精度可高于百萬分之一，檢測分辨率達到1ppm量級，而且重復性好，穩定可靠，使用壽命長，定量分析，實現了大范圍的連續空間的檢測，操作簡單，故障率少。
