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    質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍是個什么概念?
    發(fā)布者:蘇州九宇自動化設(shè)備有限公司  發(fā)布時間:2013-05-06 09:51:16  訪問次數(shù):50

    質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門,閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程,在工作的過程當(dāng)中,控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降,即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.10.3MPa,若壓差低于最低值(0.1 MPa),有可能控制達(dá)不到滿量程值;若高于最高值(0.3MPa),有可能關(guān)閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時,無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓,應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi),并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。

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