一、硬度偏低
生產實踐中，工件滲氮（軟氮化）后其表面硬度有時達不到工藝規定的要求，輕者可以返工，重者則造成報廢。造成硬度偏低的原因是多方面的：
設備方面：如系統漏氣造成氧化；
材料：如材料選擇欠佳；
前期熱處理：如基體硬度太低，表面脫碳嚴重等；
預先處理：如進爐前的清潔方式及清潔度。
工藝方面：如滲氮（軟氮化）溫度過高或過低，時間短或氮勢不足等等。
所以具體情況要具體分析，找準原因，解決問題。
二、硬度和滲層不均勻
裝爐方式不當；
氣壓調節不當；
溫度不均；
爐內氣流不合理。
三、變形過大
變形是難以杜絕的，對易變形件，采取以下措施，有利于減小變形：
滲氮（軟氮化）前應進行穩定化處理；
滲氮（軟氮化）過程中的升、降溫速度應緩慢；
保溫階段盡量使工件各處的溫度均勻一致。對變形要求嚴格的工件，如果工藝許可，盡可能采用較低的氮化（軟氮化）溫度。
四、處觀質量差
滲氮（軟氮化）件出爐后首先用肉眼檢查外觀質量，鋼件經滲氮（軟氮化）處理后表面通常呈銀灰（藍黑色）色或暗灰色（藍黑色），不同材質的工件，氮化（軟氮化）后其表面顏色略有區別，鈦及鈦合金件表面應呈金黃色。
五、脈狀氮化物
氮化（特別是離子氮化）易出現脈狀氮化物，即擴散層與表面平行走向呈白色波紋狀的氮化物。其形成機理尚無定論，一般認為與合金元素在晶界偏聚及氮原子的擴散有關。因此，控制合金元素偏聚的措施均有利于減輕脈狀氮化物的形成。工藝參數方面，滲氮溫度越高，保溫時間越長,越易促進脈狀組織的形成，如工件的棱角處，因滲氮溫度相對較高，脈狀組織比其它部位嚴重得多。