美國早在1886年即發(fā)布過第一個TUF專利，1914年的專利認為TUF的流量與頻率有關(guān)。美國的第一臺TUF是在1938年開發(fā)的，它用于飛機上燃油的流量測量，只是直至二戰(zhàn)后因噴氣發(fā)動機和液體噴氣燃料急需一種高精度、快速響應的流量計才使它獲得真正的工業(yè)應用。如今，它已在石油、化工、科研、國防、計量各部門中獲得廣泛應用。
流量測量最早是由瑞士人開始的，在1738年，瑞士著名的物理學家丹尼爾·伯努利以伯努利方程為基礎(chǔ)，利用了差壓法測量了水流量。 后來，意大利物理學家文丘里又用文丘里管測量了流量，并發(fā)表了研究成果。 1886年，美國人赫謝爾應用文丘里管制成了測量水流量的的實用測量裝置。 20世紀初期到中期，原有的測量原理逐漸走向成熟，人們不再將思路局限在原有的測量方法上，而是開始了新的探索。1910年時，美國人開始了槽式流量計的研究工作，這種流量計是用來測量明溝中水流量的。1922年，帕歇爾將水槽測量改革為帕歇爾水槽。 槽式流量計發(fā)展的同時，美籍匈牙利人卡門正在研究渦街理論，1911年到1912年，他提出了卡門渦街新理論。 到了30年代，又出現(xiàn)了探討用聲波測量液體和氣體的流速的方法聲波測量流量的方法，但到第二次世界大戰(zhàn)為止未獲得很大進展，直到1955才有了應用聲循環(huán)法的馬克森流量計的問世，用于測量航空燃料的流量。 1945年，科林用交變磁場成功的測量了血液流動的情況。 20世紀的60年代以后，測量儀表開始向精密化、小型化等方向發(fā)展。例如，為了提高了差壓儀表的精確度，出現(xiàn)了力平衡差壓變送器和電容式差壓變送器；為了使電磁流量計的傳感小型化和改善信噪比，出現(xiàn)了用非均勻磁場和低頻勵磁方式的電磁流量計，此外，具有寬測量范圍和無活動檢測部件的實用卡門渦街流量計也在70年代問世。 隨著集成電路技術(shù)的迅速發(fā)展，具有鎖相環(huán)路技術(shù)的超聲（波）流量計也得到了普遍應用，微型計算機的廣泛應用，進一步提高了流量測量的能力，如激光多普勒流速計應用微型計算機后，可處理較為復雜的信號。