對基本硬度要求不高，而表面硬度要求較高的精密復雜模具，可采取模具粗加工后進行調質熱處理，精加工后進行低溫氮化處理（500~550℃），由于模具氮化溫度低，不存在基體組織相變，另外爐冷至室溫出爐，冷卻應力也較少，模具變形較小。
對精密復雜模具，如其硬度要求不太高，可采用預先熱處理的預硬鋼，對模具鋼（如3Cr2Mo, 3CrMnNiMo鋼）進行預先熱處理，使之到達使用時的硬度（較低硬度為25~35HRC，較高硬度為40~50HRC），然后把模具加工成型不再進行熱處理，從而保證精密復雜模具的精度。
3、 采用時效硬化型模具鋼
對精密復雜模具可采用時效硬化鋼，如 PMS(1Ni3Mn2CuA1.Mo)鋼是一種新型時效模具鋼，在870℃固溶淬火后的硬度在30HRC左右，便于機械加工，模具加工成型后再進行 500℃左右的時效熱處理，即可獲得40~45HRC的較高硬度，模具變形較小，只需要進行拋光處理，是理想的精密復雜模具用鋼。