a.清洗介質：
采用超聲波清洗，一般有兩種清洗劑：化學清洗劑和水基清洗劑。清洗介質是化學作用，而超聲波清洗是物理作用，兩種作用相結合，以對物體進行充分、徹底的清洗。
b.功率密度：
超聲波的功率密度越高，空化效果越強，速度越快，清洗效果越好。單對于精密的、表面光潔度甚高的物體，采用長時間的高功率密度清洗會對物體表面產生“空化”腐蝕。
c.超聲波頻率：
超聲波頻率越低，在液體中產生空化越容易，作用也越強。頻率高則超聲波方向性強，適合于精細的物體清洗。
d.一般來說，超聲波在30oС~40oС時空化效果最好。清洗劑則溫度越高，作用越顯著。
通常實際應用超聲波清洗時，采用30oС~60oС的工作溫度。