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型號

VL-570

類型

測量頭

載物臺

VL-550、VL-530

控制器

VL-500

照明系統

觀察用光源

三色 LED(紅色、綠色、藍色)

測量用光源

藍色 LED

測量精度

±10 μm*1

測量分辨率

標準測量(4M 模式)

400 萬點

高精度測量(16M 模式)

VL-550: 1600 萬點*2
VL-530: —

測量范圍

低倍

?300×H200 mm

高倍

?70×H50 mm

顯示分辨率

0.1 μm*3

重復精度(σ)

2 μm*4

投光 光學系統

偏移投光型投影儀模塊

受光 光學系統

低倍、高倍偏移雙光學模塊

圖像拼接功能

自動旋轉拼接測量

○

自動 XY 拼接測量

VL-550: ○
VL-530: —

自動 XY 拼接 測量范圍

低倍(2×2 合成)

VL-550: ?500×H200 mm
VL-530: —

低倍(3×1 合成)

VL-550: W580×D300×H200 mm*5
VL-530: —

高倍(2×2 合成)

VL-550: ?110×H50 mm
VL-530: —

高倍(3×1 合成)

VL-550: W150×D70×H50 mm*5
VL-530: —

載物臺

載物臺構成

VL-550: 電動 XYθ 載物臺構造
VL-530: 電動θ 載物臺構造

載物臺旋轉

360°(無限旋轉)

載物臺移動范圍

VL-550: ?200 mm
VL-530: —

傾斜構造

45°

承受負重

VL-550: 50 kg
VL-530: 20 kg

控制用計算機

本公司專用 PC(OS 為 Windows®10)*6

電源

電源電壓

100 至 240 VAC±10％ 50/60 Hz

消耗功率

[VL-550] 控制器/ 測量頭: 200 VA、載物臺: 80 VA
[VL-530] 控制器/ 測量頭: 200 VA、載物臺: 200 VA

環境抗耐性

使用溫度范圍

+15 至 +30℃

使用濕度范圍

20 至 80%RH，但無凝結

重量

控制器: 3.8 kg
載物臺: 26 kg (VL-550) 、25.4 kg (VL-530)
遮光罩: 5.5 kg (VL-550) 、3.6 kg (VL-530)
測量頭: 18.5 kg