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日本ALNAIR硅晶圓厚度傳感器SIT-200
日本ALNAIR硅晶圓厚度傳感器SIT-200
產品價格:¥1200(人民幣)
  • 規格:完善
  • 發貨地:本地至全國
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  • 最小起訂量:1件
  • 誠信商家
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    商鋪名稱:天津瑞利光電科技有限公司

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    商品詳情

      天津瑞利光電科技有限公司優勢經銷日本ALNAIR硅晶圓厚度傳感器

      ? 品牌名稱:ALNAIR

      ? 規格型號:SIT-200

      產品介紹

      用于硅晶片的全光學非接觸式厚度傳感器

      高動態范圍,能夠測量混亂的表面

      能夠在濕蝕刻過程中進行原位測量

      SIT-200使用高速掃頻可調激光器(而不是寬帶光源)來探測被測晶片。這樣就可以對每個波長進行更高功率的測量,從而實現高動態范圍。即使在未拋光的晶片上,例如在濕蝕刻期間/之后,也可以進行厚度測量。硅晶圓厚度傳感器由準確調諧的波長掃描激光源,聚焦傳感器和光接收器(PD)構成。波長掃描光聚焦在目標上,并且在通過傳感器后,PD會檢測到從目標表面反射回來的干涉圖樣。

      產品參數

      測量對象:硅片

      可測厚度:10~500n = 3.5)μm

      光源:波長掃描激光源

      1515~1585nm

      光輸出功率:0.6,激光等級1 mW

      引導光源:紅色LD,激光等級1M

      測量時間:min.20 ms

      重復性:小于0.13σ)μm

      監控輸出:干擾信號(電氣)

      PC接口:以太網

      電源:AC 100-24050/60 HzV

      尺寸(寬xx深):364 x 147 x 391 mm

      重量:9.0 kg

      天津瑞利光電科技有限公司于2016年成立,坐落于渤海之濱天津,地理位置得天獨厚,交通運輸便利,進出口貿易發達。憑借著歐洲的采購中心,我們始終為客戶提供歐美工業技術、高新科技等發達國原裝進口的光電設備、光學儀器、機電設備及配件、電氣成套設備、工業自動化控制設備產品,同時擁有多個品牌的授權經銷和代理權。

      (價格僅供參考? 商品為進口商品,受匯率 關稅 運費等不確定因素 ,不支持網上訂貨,訂貨前請電話確認價格)



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