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JEL小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SSCR3090S
JEL小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SSCR3090S
產品價格:¥\u9762\u8bae(人民幣)
  • 規格:完善
  • 發貨地:上海上海
  • 品牌:
  • 最小起訂量:1
  • 免費會員
    會員級別:試用會員
    認證類型:企業認證
    企業證件:通過認證

    商鋪名稱:上海衡鵬企業發展有限公司

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    聯系地址:上海市徐匯區田州路159號蓮花大廈3樓B座

    郵編:200233

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    商品詳情
      產品參數
      品牌JEL
      品名機械手臂
      軸數3軸
      英文名wafer robot
      產地中國
      加工定制
      機械手臂標準臂長90mm
      晶圓固定方式真空吸附式,下托式
      使用環境潔凈間內的大氣環境
      手臂單臂
      到達距離175mm
      升降軸最大行程150mm
      可搬運質量0.1kg
      可售賣地北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆
      類型圓柱坐標型
      型號SSCR3090S




      JEL SSCR3090S小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂特點:
      超潔凈無塵間用2軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SSCR3090S系列
      適用于半導體生產設備內部,檢測設備等小尺寸晶圓的搬運,通過優化機械手臂的空間尺寸,
      有利于實現設備的小型化
      機械手臂標準臂長:90mm
      同SSCR2090S-PM兼容,連桿式手臂,可以定制沒有Z軸模塊的機械手臂
      配備動作監視器
      控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
      全軸使用2相步進電機
      S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓
      晶圓固定方式:真空吸附式,下托式
      手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質
      可以針對被搬運物體種類,設備布局等要求提供最優的手指


      小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SSCR3090S基本參數:
      使用環境 潔凈間內的大氣環境
      手臂 單臂
      到達距離 175mm (手臂第3關節中心到達距離)
      升降軸最大行程 150mm
      可搬運質量 0.1kg (只包含被搬運物體)(手臂第3關節處基準)


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  • 0571-87774297  
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